文献综述
一、文献综述与调研报告：（阐述课题研究的现状及发展趋势，本课题研究的意义和价值、参考文献）
意义和价值：
激光技术是当代科学发展的一个新兴领域，在21世纪以来得到了快速的发展，极大地推动了社会经济发展和科学技术的进步，尤其在超精密测量技术方面得到了广泛的应用。但是，随着航空航天工业、集成电路制造、纳米科学研究等领域迅猛发展，超精密测量技术面临这越来越大的挑战。[1]
在超精密测量领域中，激光干涉测量技术以其非接触、精度高、可溯源等优点成为超精密测量的有效技术手段，被广泛应用于量规检定、车床校准以及纳米传感器标定等静态几何量的精密测量场合[1]。在激光干涉测量技术中，双频式激光干涉仪具有响应速度快、测量范围大、容易实现高精度测量的特点；采用光电信号倍频及细分技术后，系统分辨率可以得到很大提高，所以，双频激光干涉仪也成为了前精密测试领域应用最为广泛的干涉仪。
然而，在双频激光干涉仪中,由于激光源的偏振态不理想或不稳定,光学元器件的性能不理想或调整不完善,容易引起干涉光路中两种频率的偏振光不能彻底分开,从而形成较大的周期性非线性误差,其幅值往往达到几纳米,甚超过10nm。[2]这项误差在以往的微米精度双频干涉仪中往往被忽略,但对于纳米测量系统而言,已经成为影响测量精度的重要误差源。由于非线性误差对双频激光干涉仪测量精度产生的极大影响，所以，非线性误差检测技术成为了纳米精度激光干涉仪研制的关键技术之一，如何找到有效的方法来解决这一问题是一个非常重要的研究课题。
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