摘要
薄膜材料由于其重量轻、柔韧性好等特点，在航空航天、生物医疗等领域有着广泛的应用。
薄膜位置的精确感知是实现其功能的关键。
基于双硅麦的薄膜位置传感器利用声学测距原理，通过测量声波在传感器与薄膜之间传播的时间差来计算距离，进而确定薄膜的位置。
与传统的位置传感器相比，该方法具有成本低、易于集成、抗电磁干扰等优点，近年来受到越来越多的关注。
本文首先介绍了薄膜位置传感器的研究背景及意义，并对双硅麦测距技术的原理和误差来源进行了分析。
其次，本文综述了国内外基于双硅麦的薄膜位置传感器研究现状，包括传感器硬件设计、信号处理算法、系统测试与应用等方面，并对不同研究方法的优缺点进行了比较和分析。
最后，本文对基于双硅麦的薄膜位置传感器未来发展趋势进行了展望，指出其在高精度、小型化、智能化等方面的发展方向。
关键词：薄膜位置传感器；双硅麦；声学测距；信号处理；文献综述
1相关概念#1.1薄膜位置传感器薄膜位置传感器是一种用于测量薄膜材料位置的装置。
薄膜材料通常指厚度小于1毫米的柔性材料，其在航空航天、生物医疗、柔性电子等领域有着广泛的应用。
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